用于振动的传感器是根据不同的机械或光学原理操作的传感器，以检测观察到的系统的振动。

可以使用各种类型的传感器来完成振动的测量。虽然没有直接的振动传感器，但可以间接测量振动，从经典的机械或光学量中推导出值。这些传感器的某些功能不同。除其他外，它们可以根据主动和被动行为进行划分，有传感器可以测量相对和其他绝对值。其他显着特征是频率范围，信号动态和测量数据的质量。这里示出的以下传感器***先构造在接触和非接触组中，并且在子项目路径，速度和加速度测量中。

路径测量

电位发射器

图1：电位发射器（原理图）

电位发射器是一维位置传感器。它基于电位计，一个可调节的分压器。将电压施加到电阻轨道。擦拭器沿着这个电阻轨道运行，因此将电阻器分成两部分，如图1所示（电阻器R1和R2）。在擦拭器的不同位置处，由于电阻的变化，可以测量特定的所得电压。擦拭器移动，因为它附着在振动物体的运动上。频率范围为5 Hz至2 kHz，相当于可能的***大加速度为20 g。电位计变送器可以实现1 mm至2 m的测量行程，并具有无限分辨率。工作温度范围介于低于零和150°C的两位数温度之间。

线性可变差动变压器

图2：LVDT - 初级线圈A和次级线圈B的剖视图

该线性差动变压器（LVDT）是一种基于感应的变压器。它可用于位移的相对测量。如图2所示，该传感器沿一个轴工作，可以确定运动方向。LVDT基本上由三个线圈和一个核心组成。初级线圈连接到AC电源以进行激励。另外两个线圈放置在初级线圈的每一侧并且布置成串联相对的。在该线圈组件的中心是一个磁芯，它影响从初级线圈到次级线圈的磁通量。取决于附接到振动物体的芯的运动，可以从输出信号推导出方向和距离。载波频率范围从50Hz到25kHz，通常定义为核心运动频率的10倍。

速度测量

电动力学原理

在电动力学原理是在相对速度传感器中使用。它基于归纳现象。为了应用该原理，使用线圈和轻质永磁体。磁铁固定在振动物体上。磁铁要么无接触地移动，要么在线圈内被引导。由于磁铁的运动，在线圈中感应出电压。可以测量该电压，并且该电压与振动速度成正比。电线的隔离是***大电压的***限制。例如，传感器的工作频率范围介于1 Hz和2 kHz之间。

地震仪

图3：现代宽带地震计

可以使用地震计测量绝对速度。的地震仪由一个地震质量和在壳体内的弹簧的。由于质量的惯性，在振动的情况下，在震动质量和壳体之间存在相对运动。可以使用固定在壳体上的线圈引起感应。由于质量的移动，在线圈中感应出电压。可以测量该电压速度，因为它是成比例的。通常在这种地震计中安装衰减均衡以避免共振峰值。在今天的地震仪中，质量相对于壳体是静止不动的。因此，没有由振动质量的运动引起的电压幅度。然而，通过电压测量保持质量平衡所需的力。现代地震仪能够记录小于的频率

加速度测量

压电传感器

图4：压电传感器

该压电传感器的工作原理的地震原则的基础和压电效应上。这里的石英晶体和压电陶瓷取代了地震计中使用的弹簧。压电材料一侧固定在振动物体上，另一侧固定在振动体上。振动力导致压电材料的应变和压缩。压电效应描述了由于极化材料的长度变化而产生的电荷。该电荷与作用力成比例，可以分接。由于力是质量和加速度的乘积，因此可以很容易地计算出来。压电材料非常坚硬，因此可能需要阻尼。这可以通过添加塞子或将部件浸入油中来实现。压电传感器的重量从小于1克到几克不等。压电传感器的线性频率范围从低于0.1 Hz到高于

压阻式传感器

图5：压电电阻传感器

所述压阻传感器使用四个半导体应变计。这些应变计使用桥接电路与振动质量一起安装在振动物体上。振动导致应变仪变形。在一个方向上的运动期间，两个应变仪被拉伸而另外两个被压缩，这导致电压变化。与压电效应相比的优点是还可以测量恒定的加速度。可以测量高达1000 g的加速度。压电传感器更适合于高频率，而半导体传感器在低频率是优选的。

电阻传感器

电阻传感器的功能原理与压阻式传感器的功能原理相同。***的区别是应变计不是由具有压电效应的材料制成。这导致类似的属性。但可测量的信号较低。

电感式传感器

用于加速度测量的感应传感器基于以下事实：可以将地震质量的反作用力转换成路径。现在可以通过测量感应电压来计算覆盖距离，从而可以确定振动的大小和方向。然而，这种依赖于路径的测量要求传感器比可比较的加速度传感器大得多。

非接触式振动测量

路径测量

电容原理

该电容原理可以应用到非接触振动测量，如果振动对象或它的相关部分可用作一个电容器的板。为了进行测量，需要第二块板。现在整个设置就像任何普通电容一样。两个板的距离的变化与容量成比例。交流电源连接到电容器。根据板之间的距离，传感器可以识别特定的振幅，该振幅可以用于进一步处理。测量行程达到几个

涡流传感器

图6：涡流原理的说明

在涡流传感器中，振动的位移测量限于金属物体或至少具有金属表面的物体。传感器由一个连接到交流电源的线圈组成。这种配置产生电磁场，进而在金属物体内产生涡流。这些涡流会干扰电磁场并导致可测量的耗散。可能的路径测量值介于0.5和80 mm之间。这里的分辨率介于nm和。之间

霍尔传感器

的霍尔传感器使用用于非接触测量路径霍尔效应。为此，必须在被测物体上固定一个小的永久磁铁。一旦发生振动，就可以通过测量洛伦兹力的影响来检测电信号。输出信号与覆盖路径成比例。然而，非线性特征曲线和对环境影响的高敏感性导致有限的可用性。

光学传感器

光学传感器使用激光来检测距离的变化。除了激光器之外，还需要分束器，反射器，布拉格单元和光电检测器来进行测量。需要这些装置来获得两个光束，即测量光束和参考光束。测量光束聚焦在振动物体上。它的反射与参考光束合并并开始干涉。生成的干涉图案可以由光电检测器解码。光学传感器的范围在几毫米之内，分辨率在纳米范围内。

速度测量

激光多普勒测振仪

图7：LDV（示意图）

的激光多普勒振动计（LDV）使用用于非接触速度测量多普勒频移。原则上，它由激光器，分束器，反射器，布拉格单元和光电检测器组成。相干激光通过偏振分成测量光束和参考光束。测量光束投射到振动物体上并在其表面上反射。参考波束用于通过布拉格单元发送频移。该频移允许稍后检测运动方向。两个光束的干涉导致频率调制信号。各种解调方法能够将信号转换为路径或速度信息。商用LDV的频率范围在0Hz和30MHz之间，并且可以遵循从100nm / s到20m / s的振动速度。

加速度测量

到目前为止，还没有人知道直接获得加速度数据。可以通过从速度测量推导来接收该数据。然而，测量噪声对导出数据的质量有很大影响。因此，这样做并不总是可行或有用的。

传感器表