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什么是MEMS传感器

来源:未知 发布时间:2019-10-12热度:

        MEMS是micro electro mechanical system微电子机械系统的缩写,这种微电子制造技术适用于任何传感器的制造。这些技术,通常在硅晶体上蚀刻,创造微观尺寸的机械传感结构。当与微电路耦合时,MEMS传感器可以用于测量例如加速度之类的物理参数。不同于ICP®传感器,MEMS传感器测量频率低至0Hz(静态或者DC加速度)。PCB®制造两种类型的MEMS加速度计,可变电容式和压阻式。可变电容(VC)MEMS加速度计主要是低幅值,***灵敏度设备,用于结构监测和恒定加速度的测量。压阻(PR)MEMS加速度计主要是***量程,低灵敏度设备,用于冲击和爆炸应用。  

        PCB®的VC MEMS加速度计有型号3711E,3713E和3741E系列。PCB®的压阻MEMS加速度计有型号3501,3503,3641,3651以及3991。

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